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红外物镜可用于透过硅材料成像,进行半导体检查和测量。配备 了5倍到50倍红外(IR)物镜,提供了从可见光波长到近红外 的像差校正。对于高放大倍率的物镜,配备了带校正环的物镜,校正由样品厚度导致的像差。使用一个物镜即可获取清晰的图像。...
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