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JX系列大工作平台半导体检查显微镜，采用研究级显微镜R照明系统和光学系统，人机工程学设计全面提升，照明均匀，成像清晰，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。突破性的大金相机架设计，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
观察方式 | 明场 | |
观察筒 | 30°倾斜 | |
正像，无限远铰链式三通观察筒，瞳距调节：50-76mm， | ||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调 | |
物镜 | 无限远平场物镜 5X、10X、20X、50X、100X | |
转换器 | 内倾五孔转换器 | |
调焦机构 | 粗微动同轴调焦，行程 29mm 微动 0.002mm/ 格，0.2mm/ 圈； | |
载物台 | 8英寸三层机械移动平台: 移动范围：200mm×200mm 带离合手抦可实现快速移动 | 17×12英寸机械移动平台: 移动范围：430mm×305mm； 带离合手抦可实现快速移动 |
低手位X、Y方向同轴调节；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板，（反射用） | ||
晶圆辅助台 | 选配 | |
反射照明系统 | 明场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；检偏和起偏装置 | |
摄影摄像 | 1X摄像接筒，C型接口 | |
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