半导体晶圆显微镜JX-23A

产品名称：半导体晶圆显微镜

产品型号：JX-23A

产品规格：50-500倍

移动平台：(8*8英寸12*14英寸)

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JX系列大工作平台半导体检查显微镜，采用研究级显微镜R照明系统和光学系统，人机工程学设计全面提升，照明均匀，成像清晰，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。突破性的大金相机架设计，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查

光学系统	无限远色差校正光学系统
观察方式	明场/暗场/偏光/DIC
观察筒	30°倾斜	0°- 35°倾斜
	正像，无限远铰链式三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，分光比：100:0或0:100
目镜	高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调
物镜	明暗场半复消金相物镜5X、10X、20X、50X
转换器	明暗场五孔转换器，带DIC插槽
调焦机构	反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm，微调精度0.001mm；带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置，内置100-240V宽电压系统。
载物台	8英寸三层机械移动平台: 平台面积525mm×330mm 移动范围：210mm×210mm	12×14英寸机械移动平台: 平台面积420mm×718mm，移动范围：305mm×356mm；
	低手位X、Y方向同轴调节；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板，（反射用）
晶圆辅助台	选配
反射照明系统	明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽
摄影摄像	0.5X/0.65X/1X摄像接筒，C型接口，可调焦
其他	起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板；DIC微分干涉组件；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺

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